洁净标准与洁净等级
来源：
作者：
时间：2008-11-05
点击：
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ISO等级 |
各粒径档最大容许粒子浓度 (颗/m3)
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0.1um |
0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
|
5um
|
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|
1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
2 |
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
3 |
1，000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
|
4 |
10，000
|
2，370
|
1，020
|
32
|
83
|
|
|
5 |
100，000
|
23，700
|
10，200
|
3，520
|
832
|
29
|
|
6 |
1，000，000
|
237，000
|
102，000
|
35，200
|
8，320
|
293
|
|
7
|
|
|
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352，000
|
83，200
|
2，930
|
|
8
|
|
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3，520，000
|
832，000
|
29，300
|
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9
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35，200，000
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8，320，000
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293，000
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